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发明名称 A semiconductor processing system
摘要
申请公布号 EP1067586(A3) 申请公布日期 2007.10.31
申请号 EP20000114669 申请日期 2000.07.07
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 HEGEDUS, ANDREAS
分类号 H01L21/302;C23C16/48;C30B25/10;H01L21/205;H01L21/26;H01L21/3065;H01L21/324;H01L21/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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