发明名称 |
光电二极管结构及其制作方法 |
摘要 |
本发明提供了一种制作光电二极管的方法,该方法包括提供一基底,并形成掺杂区于基底中,另外,形成介电层、第一多晶硅层于基底上。并形成一开口以暴露出部分掺杂区的表面,然后,形成第二多晶硅层于第一多晶硅层上方和开口内。并且,图案化第二多晶硅层以形成导线,再图案化第一多晶硅层以形成栅极,最后形成源极/漏极。 |
申请公布号 |
CN101064351A |
申请公布日期 |
2007.10.31 |
申请号 |
CN200610077348.6 |
申请日期 |
2006.04.29 |
申请人 |
联华电子股份有限公司 |
发明人 |
施俊吉;王铭义;陈俊伯 |
分类号 |
H01L31/102(2006.01);H01L31/18(2006.01);H01L27/146(2006.01);H01L21/82(2006.01) |
主分类号 |
H01L31/102(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波;侯宇 |
主权项 |
1.一种制作光电二极管的方法,包括:提供基底;形成多个绝缘层于该基底中;形成掺杂区于该基底中,且被该些绝缘层围绕;形成介电层位于该基底上;形成第一导电层于该介电层上;蚀刻该第一导电层和该介电层以形成开口,以暴露出部分该掺杂区的表面;形成第二导电层于该第一导电层上方和该开口内;图案化该第二导电层,以形成导线于该掺杂区的一侧;图案化该第一导电层,以形成栅极于该掺杂区不同于该导线的一侧;以及形成源极/漏极于该栅极不同于该掺杂区的一侧的该基底中。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区 |