在腐蚀过程中保护微机械器件金属连线的密封方法

摘要

本发明公开了一种在腐蚀过程中保护微电子机械系统器件金属连线的密封方法，其步骤如下：1.将重量比为1∶0.4-0.6∶0.05-0.08的环氧树脂E-51^#、邻苯二甲酸二丁酯、偶联剂KH-550混合搅拌；在以上混合物中加入质量为环氧树脂E-51^#的1～1.2倍的聚酰胺200^#，与以上混合物搅拌均匀；2.对毛玻璃的表面进行处理；3.对芯片表面进行处理；4.将密封胶涂在毛玻璃上，然后将芯片有金属线的一面盖到密封胶上，在密封胶固化后，将带有芯片的毛玻璃放到腐蚀液中进行腐蚀。5.腐蚀结束后，将带有芯片的毛玻璃加热，利用芯片和密封胶的热胀冷缩将密封胶去掉。该密封方法隔绝各向异性腐蚀液与铝等金属的接触来保护金属不受腐蚀液的侵蚀，给MEMS器件的制作带来了很大的方便。

主权项

1、一种在腐蚀过程中保护微机械器件金属连线的密封方法，其特征在于：包括如下步骤：1)制备密封胶：a.将质量比为1∶0.4-0.6∶0.05-0.08的环氧树脂E-51#、邻苯二甲酸二丁脂、偶联剂KH-550进行混合搅拌；b.在以上混合物中加入质量为环氧树脂E-51#的1～1.2倍的聚酰胺200#，与以上混合物搅拌均匀待用；2)对毛玻璃的表面进行去污去脂处理：a.取毛玻璃一片，将毛玻璃放到浓度为98％-99.5％丙酮溶液中浸泡2-5分钟；b.将毛玻璃从丙酮溶液中取出，放到浓度为95％-99.5％酒精溶液中浸泡1-2分钟；c.将毛玻璃从酒精溶液中取出，用去离子水冲洗干净，晾干待用；3)对芯片进行表面处理：a.将芯片放到浓度为98％-99.5％丙酮溶液中浸泡2-5分钟；b.将芯片从丙酮溶液中取出，放到浓度为95％-99.5％酒精溶液中浸泡1-2分钟；c.将芯片从酒精溶液中取出，用去离子水冲洗干净，用高纯氮气吹干待用；4)在毛玻璃上涂密封胶：将制备好待用的密封胶均匀涂在晾干的毛玻璃上面，然后将芯片有铝线的一面盖到密封胶上，等待24小时密封胶固化后，将带有芯片的毛玻璃放到浓度为33％-35％的氢氧化钾腐蚀液中进行腐蚀；5)去除密封胶：腐蚀结束后，将腐蚀后带有芯片的毛玻璃进行加热，利用芯片和密封胶的热胀冷缩将密封胶去掉。