Piezoaktor mit Mehrschicht-Verkapselung und Verfahren zu seiner Herstellung

摘要

Die vorliegende Erfindung offenbart ein Herstellungsverfahren einer Mehrschicht-Verkapselung 1 eines piezoaktors 5, so dass der Piezoaktor 5 ohne zusätzliche gehäuseartige umhüllende Struktur nach außen geschützt ist. Zur Realisierung der Mehrschicht-Verkapselung 1 wird zunächst eine elektrisch isolierende elastische Schicht 10 auf die Oberfläche des Piezoaktors 5 aufgebracht. Nachfolgend wird eine metallische Schicht 40 auf die elektrisch isolierende elastische Schicht 10 aufgebracht, so dass sie diese flächig bedeckt.