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发明名称
摘要
申请公布号	JP3998677(B2)	申请公布日期	2007.10.31
申请号	JP20040304555	申请日期	2004.10.19
申请人		发明人
分类号	H01L21/76;H01L21/02;H01L21/265;H01L27/12	主分类号	H01L21/76
代理机构		代理人
主权项
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