发明名称 |
场效应晶体管以及包括场效应晶体管的集成电路 |
摘要 |
场效应晶体管(FET)、包括FET的集成电路(IC)芯片。器件具有薄沟道,例如超薄(小于或等于10纳米(10nm))绝缘体上硅(SOI)层。源/漏区域位于薄沟道每一端的凹进中,比薄沟道厚得多(例如30nm)。源/漏扩展部分和相应的源/漏区域与FET栅和薄沟道自对准。 |
申请公布号 |
CN100346483C |
申请公布日期 |
2007.10.31 |
申请号 |
CN200410057601.2 |
申请日期 |
2004.08.20 |
申请人 |
国际商业机器公司 |
发明人 |
陈华杰;布鲁斯·B·多利斯;菲利普·J·奥尔迪奇;王新琳;朱慧珑 |
分类号 |
H01L29/772(2006.01);H01L27/12(2006.01);H01L21/84(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/772(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
秦晨 |
主权项 |
1.场效应晶体管,包含:薄沟道,具有第一厚度;栅,置于所述薄沟道之上;源/漏区域,位于所述薄沟道每一端的凹进中,比所述薄沟道更厚;以及源/漏扩展部分,处于所述薄沟道和相应的所述源/漏区域之间,每个所述源/漏扩展部分和所述相应的源/漏区域与所述栅和所述薄沟道自对准。 |
地址 |
美国纽约 |