发明名称 场效应晶体管以及包括场效应晶体管的集成电路
摘要 场效应晶体管(FET)、包括FET的集成电路(IC)芯片。器件具有薄沟道,例如超薄(小于或等于10纳米(10nm))绝缘体上硅(SOI)层。源/漏区域位于薄沟道每一端的凹进中,比薄沟道厚得多(例如30nm)。源/漏扩展部分和相应的源/漏区域与FET栅和薄沟道自对准。
申请公布号 CN100346483C 申请公布日期 2007.10.31
申请号 CN200410057601.2 申请日期 2004.08.20
申请人 国际商业机器公司 发明人 陈华杰;布鲁斯·B·多利斯;菲利普·J·奥尔迪奇;王新琳;朱慧珑
分类号 H01L29/772(2006.01);H01L27/12(2006.01);H01L21/84(2006.01) 主分类号 H01L29/772(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 秦晨
主权项 1.场效应晶体管,包含:薄沟道,具有第一厚度;栅,置于所述薄沟道之上;源/漏区域,位于所述薄沟道每一端的凹进中,比所述薄沟道更厚;以及源/漏扩展部分,处于所述薄沟道和相应的所述源/漏区域之间,每个所述源/漏扩展部分和所述相应的源/漏区域与所述栅和所述薄沟道自对准。
地址 美国纽约