Metode og anordning for a separere wafere fra en stabel med wafere

摘要

Oppfinnelsen angår en metode for individuell separering av wafere fra en stabel av wafere ved plassering av stabelen wafere i et mikrobølgekammer, og eksponering av waferne for mikrobølger som forårsaker at vannet mellom waferne fordamper.