发明名称 Mikroelektronisches Hyperfrequenzmodul mit zwei verschiedenen Substratmaterialen und Herstellungsverfahren eines solchen Moduls
摘要
申请公布号 DE69934542(T2) 申请公布日期 2007.10.25
申请号 DE1999634542T 申请日期 1999.06.04
申请人 THALES 发明人 MABIRE, JACQUES;BODEVEIX, JEAN-CLAUDE
分类号 H01L23/66 主分类号 H01L23/66
代理机构 代理人
主权项
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