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发明名称 Wässrige Dispersion zum chemisch-mechanischen Polieren und chemisch-mechanisches Polierverfahren
摘要
申请公布号 DE602005002409(D1) 申请公布日期 2007.10.25
申请号 DE20056002409T 申请日期 2005.07.13
申请人 JSR CORP. 发明人 IKEDA, NORIHIKO;NISHIMOTO, KAZUO;HATTORI, MASAYUKI;KAWAHASHI, NOBUO
分类号 C09G1/04;B24B37/00;H01L21/304 主分类号 C09G1/04
代理机构 代理人
主权项
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