Methode zur Herstellung eines Mikroresonators mit ultrahoher Güte aus Quarzglas auf Siliziumsubstrat,申请号DE20036016334-传众专利搜索

发明名称	Methode zur Herstellung eines Mikroresonators mit ultrahoher Güte aus Quarzglas auf Siliziumsubstrat
摘要
申请公布号	DE60316334(D1)	申请公布日期	2007.10.25
申请号	DE20036016334	申请日期	2003.10.02
申请人	CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY	发明人	ARMANI, DENIZ K.;KIPPENBERG, TOBIAS J.;SPILLANE, SEAN M.;VAHALA, KERRY J.
分类号	G02B6/12;G02B6/10;G02B6/13;G02B6/136;G02B6/34;H01S3/05;H01S3/083;H01S5/10	主分类号	G02B6/12
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