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发明名称 Illumination system
摘要 A system and method are used to substantially homogenize and remove at least some coherence from a beam of radiation.
申请公布号 US2007247606(A1) 申请公布日期 2007.10.25
申请号 US20060606386 申请日期 2006.11.30
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 VISSER HUIBERT;KLINKHAMER JACOB F.F.;RYZHIKOV LEV;COSTON SCOTT D.;JOOBEUR ADEL;VINK HENRI J.P.;SHMAREV YEVGENIY K.
分类号 G03B27/54 主分类号 G03B27/54
代理机构 代理人
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