发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung
摘要
申请公布号 DE69737901(T2) 申请公布日期 2007.10.25
申请号 DE19976037901T 申请日期 1997.09.25
申请人 XEROX CORP. 发明人 TSAI, CHUANG-CHUANG;YAO, WILLIAM W.;FULKS, RONALD T.
分类号 H01L27/146;H01L31/036 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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