| 摘要 |
Es ist ein Photodetektormodul und ein Verfahren zum Herstellen desselben offenbart. Das Verfahren umfasst ein Fertigen eines integrierten Schaltungssubstrats, das eine Mehrzahl von Lichtumwandlungselementen an demselben aufweist, und ein anschließendes Bedecken des Substrats mit einer Retikelschicht, die eine klare Schicht und eine Maskenschicht aufweist. Die klare Schicht weist eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche auf, wobei die untere Oberfläche an das Substrat gebondet ist. Die obere Oberfläche ist mit der Maskenschicht bedeckt. Nachdem die Retikelschicht an das Substrat gebondet ist, wird die Maskenschicht verarbeitet, um transparente Fenster in einer undurchlässigen Schicht über den Lichtumwandlungselementen bereitzustellen, nachdem das Substrat mit der Retikelschicht bedeckt ist. Die Fenster weisen eine Form auf, derart, dass jedes Lichtumwandlungselement ein vorbestimmtes Signal erzeugt, wenn ein vorbestimmtes Lichtsignal, das ein wiederholtes Muster heller und dunkler Bänder aufweist, über das Lichtumwandlungselement unter dem Fenster durchläuft.
|
