发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR SEKUNDÄRIONENAUSBEUTEERHÖHUNG
摘要
申请公布号 DE60036376(D1) 申请公布日期 2007.10.25
申请号 DE2000636376 申请日期 2000.07.05
申请人 FEI CO.;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 GERLACH, ROBERT L.;CHRISTMAN, LOCKE;UTLAUT, MARK
分类号 G01N23/225;G01N27/62;H01J27/26;H01J37/08;H01J37/252;H01J37/256;H01J49/14 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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