| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SCHICHT AUS SILICIUM KARBID AUF EINER SILICIUMSCHEIBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE602004008914(D1) |
申请公布日期 |
2007.10.25 |
| 申请号 |
DE20046008914T |
申请日期 |
2004.05.05 |
| 申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE |
发明人 |
LEYCURAS, ANDRE |
| 分类号 |
C30B25/18;C30B25/02;H01L21/20 |
主分类号 |
C30B25/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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