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发明名称 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
摘要
申请公布号 DE602005000147(T2) 申请公布日期 2007.10.25
申请号 DE200560000147T 申请日期 2005.03.31
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 ZAAL, JACOBUS KOEN;MERTENS, JOHANNES JEROEN;OTTENS, JOOST JEROEN
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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