| 摘要 |
<p>En prosess for å danne miniatyriserte getteravsetninger blir beskrevet, omfattende følgende trinn: å danne et lag (11) av et fotofølsomt polymermateriale på en bærer (10); selektivt å eksponere polymerlaget for å forårsake en kjemisk modifikasjon i en del av polymerlaget; å fjerne med et løsemiddel den tidligere eksponerte eller den tidligere ikke eksponerte delen av polymerlaget, for derved å danne kaviteter (12, 121, ... ) i polymerlaget; å danne et tynt lag (13) av et gettermateriale ved hjelp av katodeavsetning ved bunnen av kaviteten og på restpolymeren; og å fjerne, med et annet løsemiddel, den polymerdelen som ikke ble fjernet ved hjelp av det første løsemiddelet, for å etterlate minst en gettermaterialavsetning (131,131', ... ; 20) på bærerflaten. Oppfinnelsen vedrører også miniatyriserte getteravsetninger fremskaffet ved hjelp av denne prosessen.</p> |
