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发明名称 METHOD FOR MEASURING VOLUME BY AN OPTICAL SURFACE PROFILOMETER IN A MICROMECHANICAL DEVICE AND A SYSTEM FOR CARRYING OUT SAID MEASUREMENT
摘要
申请公布号 EP1846735(A1) 申请公布日期 2007.10.24
申请号 EP20060709429 申请日期 2006.01.24
申请人 DEBIOTECH S.A. 发明人 CHAPPEL, ERIC
分类号 G01F22/00 主分类号 G01F22/00
代理机构 代理人
主权项
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