一种平行四边形结构的微机械可变电容

摘要

本发明公开了属于微型电子元件范围的一种平行四边形结构的微机械可变电容。由上极板、下极板、左支撑梁、右支撑梁在硅衬底上形成其横截面为平行四边形的结构体。平行四边形结构的可变电容相比于目前左右支撑梁均为垂直式的可变电容，在相同条件下比普通平行板结构可变电容电容值变化大；可变电容最大应力值要小于普通平行板结构；提高结构稳定性和可变电容使用寿命；减小微机械可变电容操作电压，使为实现一定形变量所加的偏置电压减小；并且电容所占芯片面积小。

主权项

1.一种平行四边形结构的微机械可变电容，其特征在于：所述微机械可变电容由上极板、下极板、左支撑梁、右支撑梁在硅衬底上形成其横截面为平行四边形的结构体；其下极板固定在高阻n型或p型的硅衬底上的氧化层上面，在下极板两端斜向溅射金属层作为左支撑梁和右支撑梁，在左、右支撑梁上再溅射金属层作为上极板。