摘要 |
本发明涉及一种碳纳米管场发射显示装置的制备方法,包括下列步骤:在工作板表面形成一绝缘层,该绝缘层具有一平整表面;在绝缘层表面形成一催化剂层;在催化剂层表面形成阻隔壁,并形成显示点阵区域;生成碳纳米管阵列;在碳纳米管阵列顶部形成阴极电极;形成与阴极电极和阻隔壁外形相应的底板,以支撑所述阴极电极和阻隔壁;脱去工作板,在绝缘层表面形成栅极电极;去除绝缘层对应显示点阵的区域,露出碳纳米管阵列;封装阳极。本发明可使碳纳米管阵列发射端在同一平整面,从而实现电子均匀发射;而且,碳纳米管与栅极的间距可以控制。 |