化学－机械抛光软垫的修磨器及其制造方法

摘要

一种化学-机械抛光软垫的修磨器及一种制造这种软垫修磨器的方法，该修磨器表面有大量均匀间隔的磨料颗粒，颗粒质地为金刚石或立方氮化硼等。磨料颗粒钎焊于基底，再覆以一层含有金刚石或仿金刚石石墨的防腐层，以防钎焊料合金受化学研磨膏的腐蚀。这种措施使修磨器得以在软垫进行抛光工作的同时修磨软垫。此外，磨料颗粒还基本等高地突出基底，使垂直、水平两方向均得以均匀地梳理或修磨软垫。

主权项

1.一种制造化学-机械抛光软垫修磨器的方法，其诸步骤包括A)提供一基底，其特征在于：该方法的步骤还包括：B)于基底的某一表面均匀地间隔大量磨料颗粒，以及C)将磨料颗粒固定于基底上，使各磨料颗粒以一种预定的高度突出基底；其中步骤B)与C)尚包括下列步骤：a)将一形成有预定孔图形的模板置于一钎焊料合金片上，使磨料颗粒的放置可受孔位置的控制，b)于模板的各孔内充填磨料颗粒，c)去除任何未进入模板孔内的磨料颗粒，d)将滞留于模板孔内的磨料颗粒压入钎焊料合金片中，使磨料颗粒的一部份埋置于钎焊料合金内，e)除去模板，使磨料颗粒留在钎焊料合金片上，以及f)使带磨料颗粒的钎焊料合金片固接于基底。