发明名称 |
压电晶体振荡元件的电极及其应用与制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种电极及其应用与制造方法,尤其是涉及一种用于压电晶体振荡元件的电极、采用该电极的压电晶体振荡元件及各自的制造方法。压电晶体振荡元件包括基底及电极,所述的电极位于基底之上,电极具有一晶片,所述的晶片上形成至少二层薄膜,第二薄膜的主要成分由含重量百分率占1~40wt.%金原子的合金所组成。第一薄膜与第二薄膜形成的方法为蒸镀或溅镀。本发明的压电晶体振荡元件可具有较优异的热稳定性,使得压电晶体振荡元件在组装生产过程中即使历经150~350℃的热制程后,仍可保持良好的电性表现与频率控制。 |
申请公布号 |
CN101060319A |
申请公布日期 |
2007.10.24 |
申请号 |
CN200710088065.6 |
申请日期 |
2007.03.12 |
申请人 |
台晶(宁波)电子有限公司 |
发明人 |
林启文;赵岷江;罗中仑;沈俊男 |
分类号 |
H03H9/17(2006.01);H03H9/125(2006.01);H03H3/02(2006.01) |
主分类号 |
H03H9/17(2006.01) |
代理机构 |
杭州杭诚专利事务所有限公司 |
代理人 |
王江成 |
主权项 |
1.一种压电晶体振荡元件的电极,包括第一薄膜及第二薄膜,第二薄膜形成于第一薄膜之上,其特征在于:所述的第二薄膜的主要成分由含重量百分率介于1~40wt.%金原子之合金所组成。 |
地址 |
315800浙江省宁波市北仑区黄山西路189号 |