发明名称 压电晶体振荡元件的电极及其应用与制造方法
摘要 本发明涉及一种电极及其应用与制造方法,尤其是涉及一种用于压电晶体振荡元件的电极、采用该电极的压电晶体振荡元件及各自的制造方法。压电晶体振荡元件包括基底及电极,所述的电极位于基底之上,电极具有一晶片,所述的晶片上形成至少二层薄膜,第二薄膜的主要成分由含重量百分率占1~40wt.%金原子的合金所组成。第一薄膜与第二薄膜形成的方法为蒸镀或溅镀。本发明的压电晶体振荡元件可具有较优异的热稳定性,使得压电晶体振荡元件在组装生产过程中即使历经150~350℃的热制程后,仍可保持良好的电性表现与频率控制。
申请公布号 CN101060319A 申请公布日期 2007.10.24
申请号 CN200710088065.6 申请日期 2007.03.12
申请人 台晶(宁波)电子有限公司 发明人 林启文;赵岷江;罗中仑;沈俊男
分类号 H03H9/17(2006.01);H03H9/125(2006.01);H03H3/02(2006.01) 主分类号 H03H9/17(2006.01)
代理机构 杭州杭诚专利事务所有限公司 代理人 王江成
主权项 1.一种压电晶体振荡元件的电极,包括第一薄膜及第二薄膜,第二薄膜形成于第一薄膜之上,其特征在于:所述的第二薄膜的主要成分由含重量百分率介于1~40wt.%金原子之合金所组成。
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