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发明名称 ULTRASONIC TRANSDUCER SLURRY DISPENSER
摘要
申请公布号 EP1144155(B1) 申请公布日期 2007.10.24
申请号 EP20000959642 申请日期 2000.08.30
申请人 NXP B.V. 发明人 ZHANG, LIMING;DUNTON, SAMUEL, VANCE;WELING, MILIND, GANESH
分类号 B24B53/007;B24B1/00;B24B1/04;B24B41/06;B24B57/02;H01L21/304 主分类号 B24B53/007
代理机构 代理人
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