发明名称 推拉舟上专用碎片接收装置
摘要 本实用新型涉及一种推拉舟上专用的碎片接收装置,包括有固定座,所述固定座为框式结构,固定在可移动的支座的下端。本实用新型改进后固定座为口字形,力臂从两侧导出,中间沿运动方向增加了碎片槽,固定在推拉舟左右两端罩上,既能充当推拉舟骨架的盖板,又能用于接收硅片的碎片,保证设备正常运转;满足规模化生产的要求。
申请公布号 CN200965885Y 申请公布日期 2007.10.24
申请号 CN200620148204.0 申请日期 2006.10.31
申请人 北京七星华创电子股份有限公司 发明人 郑建宇;宋晓彬;郝晓明;盛金龙
分类号 H01L31/18(2006.01) 主分类号 H01L31/18(2006.01)
代理机构 北京中宸联合知识产权代理有限公司 代理人 姚伯川
主权项 1、一种推拉舟上专用碎片接收装置,包括有固定座(4),其特征在于:所述固定座(4)为框式结构,固定在可移动的支座(1)的下端,还设有碎片槽(3),该碎片槽(3)的两端分别与右端盖(2)和左端盖(5)固定连接,该碎片槽(3)设置在可移动支座(1)的下方。
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