晶圆测试加热器

摘要

一种晶圆测试加热器，应用于加热测试晶圆，其除了既有的加热功能外，更于箱体内增加流量控制表与温控表，而可针对内部管路传送的热风，进行温度与流量的控制，使得晶圆的测试加热更加精确，由此可达到多样化功能，同时，其整体体积大小缩小，轻巧且便于携带。

主权项

1、一种晶圆测试加热器，用以对一待测晶圆进行加热，其包含有一箱体与一贯通该箱体的管路，由该管路引导空气进入，并穿过该箱体及通过一加热器加热，而以热风形式吹于该晶圆上，其特征在于：该箱体更包含有一流量控制表与一温控表，由该流量控制表控制该热风的流量，并由该温控表，控制该热风的温度。