| 发明名称 | 气体供应装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种气体供应装置，包括：一第一气体来源，提供惰性载气且连接于一第一管线；一第二气体来源，提供无水反应气体且连接于一第二管线；一第三气体来源，提供具有化学成份的气体且连接于一第三管线；一主管线，连接于该第一管线、第二管线及第三管线，以供应一混合气体，其中该混合气体是具有惰性载气、无水反应气体及具有化学成份的气体；及一温度控制器，位于该第二管线上。本发明所述的气体供应装置，具有良好蚀刻均匀性且又具低污染的优势洁净制程。 | ||
| 申请公布号 | CN101058883A | 申请公布日期 | 2007.10.24 |
| 申请号 | CN200710093756.5 | 申请日期 | 2007.04.18 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 姚亮吉;陈佳麟;王铭芳;游明丰;李昆池;陈世昌 |
| 分类号 | C23F1/08(2006.01);C23F1/12(2006.01) | 主分类号 | C23F1/08(2006.01) |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人 | 刘新宇 |
| 主权项 | 1.一种气体供应装置，其特征在于，该气体供应装置包括：一第一气体来源，提供惰性载气且连接于一第一管线；一第二气体来源，提供无水反应气体且连接于一第二管线；一第三气体来源，提供具有化学成份的气体且连接于一第三管线；一主管线，连接于该第一管线、第二管线及第三管线，以供应一混合气体，其中该混合气体具有该惰性载气、该无水反应气体及该具有化学成份的气体；及一温度控制器，位于该第二管线上。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||