用于衬底冷却的电容感测

摘要

本发明描述了一种在磁盘存储器中的衬底制造过程中使用的冷却系统，其中，冷却板相对于待冷却的衬底动态定位。本发明能够使冷却板设置得更近以便更有效地冷却。通过冷却板和待冷却的衬底之间的电容测量来控制定位。

主权项

1.一种在磁盘制造中用于冷却衬底的冷却装置，所述冷却装置包括：真空隔间，用于在磁盘制造设备中冷却磁盘；多个在所述隔间中的冷却板；用于将待冷却的衬底置入所述冷却板之间的器件；电连接所述冷却板以在所述板与在所述板之间就位的待冷却的衬底之间形成电容；伺服马达控制器，其设计为比较所述板和所述衬底之间的电容，并移动所述板直到各所述板位于基本上平行于所述衬底且与所述衬底隔开小于0.1英寸的位置。