| 发明名称 | 压电元件、喷墨头、角速度传感器及其制法、喷墨式记录装置 | ||
| 摘要 | 在压电元件中，在基板(11)上设置附着层(12)，在该附着层(12)上设置由含有钛或氧化钛的贵金属构成的第1电极层(14)，在该第1电极层(14)上设置优先取向(100)面或(001)面的取向控制层(15)。该取向控制层(15)中的第1电极层(14)侧的表面附近部的结构为：(100)面或(001)面取向的区域存在于位于第1电极层(14)中的取向控制层(15)侧的表面部的钛或氧化钛上且上述区域在垂直于层厚方向的截面上的面积从第1电极层(14)侧向相反侧变大。于是，在该取向控制层(15)上设置优先取向(001)面的压电体层(16)。 | ||
| 申请公布号 | CN100345320C | 申请公布日期 | 2007.10.24 |
| 申请号 | CN02807189.1 | 申请日期 | 2002.12.12 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 藤井映志;鸟井秀雄;高山良一;友泽淳;村田晶子;平泽拓 |
| 分类号 | H01L41/08(2006.01);H01L41/24(2006.01);B41J2/045(2006.01);B41J2/055(2006.01);G01C19/56(2006.01) | 主分类号 | H01L41/08(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种压电元件，具备：设置于基板上的第1电极层、设置于该第1电极层上的取向控制层、设置于该取向控制层上的压电体层、以及设置于该压电体层上的第2电极层，其特征在于，所述第1电极层由含有钛或氧化钛的贵金属构成，所述取向控制层由优先取向立方晶系或正方晶系的(100)面或(001)面的、锆的含量在0以上、20摩尔％以下、且铅的含量与化学量理论组成相比，过剩0以上、30摩尔％以下的钛酸镧锆酸铅，或在该钛酸镧锆酸铅中添加镁及锰中至少一种所构成，所述压电体层由优先取向菱面体晶系或正方晶系的(001)面的钙钛矿型氧化物构成，所述取向控制层中的至少第1电极层侧的表面附近部的结构为：(100)面或(001)面取向的区域存在于位于第1电极层中的取向控制层侧的表面部的钛或氧化钛上，而且所述区域在垂直于层厚方向的截面中的面积从第1电极层侧向压电体层侧变大。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||