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发明名称 method for forming isolation film of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100769127(B1) 申请公布日期 2007.10.22
申请号 KR20050133965 申请日期 2005.12.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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