| 主权项 |
1.一种以操作压力和环境压力之间之压力变化来 操作真空设备所用之方法,该真空设备在真空室(V) 中具有由电子构件,变压器,马达,滚动轴承和导引 滚筒之组合所构成之构件(12,13,13a,24),各构件设有 可通风之外罩,其中各导引滚筒(12)设有滚动轴承( 24),其在外罩内部中保持在各支持体(7,8)上,其特征 为:在该真空室(V)充填之前以一种气体导入至各外 罩中,藉由该气体使由灰尘和微粒之组合所构成之 固体由各外罩中吹出且防止各固体侵入至各外罩 中。 2.如申请专利范围第1项之方法,其中各外罩由中空 滚筒或滚筒区段(12)所构成,其中存在着具有内环( 24a)和外环(24b)之滚动轴承(24)且该气体经由该内环 (24a)和外环(24b)之间之环形间隙而吹送。 3.如申请专利范围第1或2项之方法,其中该气体在 该真空室(V)之整个充填过程中经由各外罩。 4.如申请专利范围第1或2项之方法,其中对该已传 送之气体之量进行调整。 5.如申请专利范围第3项之方法,其中对该已传送之 气体之量进行调整。 图式简单说明: 第1图 宽区段滚筒配置之轴向切面图,其配置在真 空室之二个侧壁之间。 第2图 系第1图之框II中之物件之放大图。 |
