| 主权项 |
1.一种基板侦知装置,是一种对具备用来进行基板 的插入及取出之开口,且设置有复数段之用来将已 被插入的复数片的基板收纳保持成大致水平状态 的槽之收纳盒,进行被收纳的基板的侦知之基板侦 知装置,其特征为: 具有:固设于与前述开口对峙的构件上,且由沿着 前述基板收纳容器的高度方向被直列地排列的接 收元件所构成的信号接收器、可移动地设置在前 述基板收纳容器的上下方向,且朝已被收纳于前述 基板收纳容器的各槽的基板发出信号的发信器; 利用以前述信号接收器接收前述发信器所发出的 信号,来侦知有无基板被收纳于前述基板收纳容器 的各槽及其状态。 2.如申请专利范围第1项之基板侦知装置,其中,前 述发信器是对用来使开关前述开口的开关器进退 及升降的开关器驱动装置,可朝前述收纳盒内进退 地安装着, 利用前述发信器到信号接收器的信号路径受到前 述基板所遮断,来侦知有无前述基板及其状态。 3.如申请专利范围第1项之基板侦知装置,其中,前 述信号接收器为CCD元件。 4.如申请专利范围第1项之基板侦知装置,其中,前 述信号接收器是配合前述发信器的上下移动,依次 地选择前述信号接收元件而可接收信号。 5.如申请专利范围第4项之基板侦知装置,其中,前 述信号接收元件被复数选择,将该复数个信号接收 元件之直列方向的信号接收结果进行统计处理后, 侦知有无前述基板及其状态。 6.一种基板侦知装置,是对具备用来进行基板的插 入及取出之开口,且设置有复数段之用来将已被插 入的复数片的基板收纳保持成大致水平状态的槽 之基板收纳容器,进行被收纳的基板的侦知之基板 侦知装置,其特征为: 具有:安装于与前述开口对峙的构件上,且由沿着 前述基板收纳容器的高度方向被直列地排列的复 数个信号接收器、可移动地设置在前述基板收纳 容器的上下方向,且朝已被收纳于前述基板收纳容 器的各槽的基板发出信号的发信器; 利用以前述信号接收器接收前述发信器所发出的 信号,来侦知有无基板被收纳于前述基板收纳容器 的各槽及其状态。 7.如申请专利范围第6项之基板侦知装置,其中,前 述发信器是对用来使开关前述开口的遮蔽板(开关 器)进退及升降的遮蔽板(开关器)驱动装置,可朝前 述收纳盒内进退地安装着, 利用前述发信器到信号接收器的信号路径受到前 述基板所遮断,来侦知有无前述基板及其状态。 8.如申请专利范围第6项之基板侦知装置,其中,前 述复数个信号接收器是设置成,各信号接收器分别 对应于前述基板收纳容器之各槽;或各信号接收器 对应于前述基板收纳容器之各槽的每个复数段。 9.如申请专利范围第6项之基板侦知装置,其中,以 利用聚光手段将由发信器所发出的作为信号之线 光的照射直径缩小(缩径),来朝信号接收器发出此 已被缩径的线光。 10.如申请专利范围第6项之基板侦知装置,其中,利 用使用线光反射手段、线光曲折手段或线光诱导 手段将由发信器所发出的作为信号之线光至信号 接收器的路径予以变更,来调整朝信号接收器的线 光照射角度。 11.如申请专利范围第6项之基板侦知装置,其中,根 据在前述信号接收器所接收到的信号之信号接收 器输出,针对前述基板收纳容器之每个槽,算出:相 当于与沿着前述前述基板收纳容器高度方向移动 中的前述发信器的位置对应而合计的前述信号接 收器输出之分布长度的接收信号全体宽、相当于 至前述信号接收器的信号路径被前述基板遮断而 前述接收信号全体宽度之前述信号未被接收到的 部分之长度的接收信号遮断宽; 利用比较根据前述各信号接收器之信号接收可能 宽之尺寸所设定的预定之临界値与前述接收信号 全体宽、及比较根据前述基板的尺寸所设定的预 定之临界値与前述接收信号遮断宽,来判断已被收 纳于前述各槽之前述基板的收纳状态。 12.如申请专利范围第6项之基板侦知装置,其中,前 述信号接收器是可侦知接收到的信号之强度与所 接收到的信号的前述信号接收器内之信号接收位 置; 前述信号接收器是输出相当于在前述信号接收器 所接收到的信号的前述强度之强度输出、与相当 于前述信号接收位置之位置输出,或输出可运算前 述强度输出与前述位置输出之状态的资讯; 根据在前述信号接收器所接收到的信号之前述弹 度输出与前述位置输出,针对前述基板收纳容器之 每个槽,算出:相当于与沿着前述前述基板收纳容 器高度方向移动中的前述发信器的位置对应而合 计的前述信号接收器输出之分布长度的接收信号 全体宽、相当于至前述信号接收器的信号路径被 前述基板遮断而仅经过前述接收信号全体宽之来 自于前述发信器的一条直线路径而接收的前述信 号未被接收到的部分之长度的接收信号遮断宽; 利用比较根据前述各信号接收器之信号接收可能 宽之尺寸所设定的预定之临界値与前述接收信号 全体宽、及比较根据前述基板的尺寸所设定的预 定之临界値与前述接收信号遮断宽,来判断已被收 纳于前述各槽之前述基板的收纳状态。 13.如申请专利范围第6项之基板侦知装置,其中,前 述信号接收器是可侦知接收到的信号之强度与所 接收到的信号的前述信号接收器内之信号接收位 置; 前述信号接收器是输出相当于在前述信号接收器 所接收到的信号的前述强度之强度输出、与相当 于前述信号接收位置之位置输出,或输出可运算前 述强度输出与前述位置输出之状态的资讯; 根据当前述发信器沿着前述基板收纳容器的高度 方向移动时在前述信号接收器所接收到的信号之 前述强度输出与前述位置输出,针对前述基板收纳 容器之每个槽,算出:相当于与沿前述位置输出对 应而合计的前述强度输出的分布长度之接收信号 全体宽、相当于至前述信号接收器的信号路径被 前述基板遮断而仅经过前述接收信号全体宽之来 自于前述发信器的一条直线路径而接收的前述信 号未被接收到的部分之长度的接收信号遮断宽; 利用比较根据前述各信号接收器之信号接收可能 宽之尺寸所设定的预定之临界値与前述接收信号 全体宽、及比较根据前述基板的尺寸所设定的预 定之临界値与前述接收信号遮断宽,来判断已被收 纳于前述各槽之前述基板的收纳状态。 14.如申请专利范围第6项之基板侦知装置,其中,根 据在前述信号接收器所接收到的信号之信号接收 器输出,针对前述基板收纳容器之每个槽,算出:相 当于与沿着前述前述基板收纳容器高度方向移动 中的前述发信器的位置对应而合计的前述信号接 收器输出之分布长度的接收信号全体宽、相当于 至前述信号接收器的信号路径被前述基板遮断而 前述收信信号全体宽度之前述信号未被接收到的 部分之长度的接收信号遮断宽、以及相当于,在于 前述接收信号全体宽中的前述接收信号器遮断宽 的中心所存在的位置之接收信号遮断位置; 利用比较根据前述基板的尺寸及前述遮断位置所 设定的预定之临界値与前述接收信号遮断宽、及 比较根据前述各信号接收器之信号接收可能宽之 尺寸所设定的预定之临界値与前述接收信号遮断 宽,来判断已被收纳于前述各槽之前述基板的收纳 状态。 15.如申请专利范围第12项之基板侦知装置,其中,根 据在前述信号接收器所接收到的信号之信号接收 器输出,针对前述基板收纳容器之每个槽,算出:相 当于与沿着前述前述基板收纳容器高度方向移动 中的前述发信器的位置对应而合计的前述信号接 收器输出之分布长度的接收信号全体宽、相当于 至前述信号接收器的信号路径被前述基板遮断而 前述收信信号全体宽度之前述信号未被接收到的 部分之长度的接收信号遮断宽、以及相当于,在于 前述接收信号全体宽中的前述接收信号器遮断宽 的中心所存在的位置之接收信号遮断位置; 利用比较根据前述基板的尺寸及前述遮断位置所 设定的预定之临界値与前述接收信号遮断宽、及 比较根据前述各信号接收器之信号接收可能宽之 尺寸所设定的预定之临界値与前述接收信号遮断 宽,来判断已被收纳于前述各槽之前述基板的收纳 状态。 16.如申请专利范围第13项之基板侦知装置,其中,根 据在前述信号接收器所接收到的信号之信号接收 器输出针对前述基板收纳容器之每个槽,算出:相 当于与沿着前述前述基板收纳容器高度方向移动 中的前述发信器的位置对应而合计的前述信号接 收器输出之分布长度的接收信号全体宽、相当于 至前述信号接收器的信号路径被前述基板遮断而 前述收信信号全体宽度之前述信号未被接收到的 部分之长度的接收信号遮断宽、以及相当于,在于 前述接收信号全体宽前述接收信号器遮断宽的中 心所存在的位置之接收信号遮断位置; 利用比较根据前述基板的尺寸及前述遮断位置所 设定的预定之临界値与前述接收信号遮断宽、及 比较根据前述各信号接收器之信号接收可能宽之 尺寸所设定的预定之临界値与前述接收信号遮断 宽,来判断已被收纳于前述各槽之前述基板的收纳 状态。 17.如申请专利范围第6项之基板侦知装置,其中,沿 着前述基板收纳容器的高度方向而直列地排列的 复数个信号接收器,是于至少相当于末配设有相邻 的前述信号接收器间之信号接收器的部分之长度 的距离量,可移动于收纳盒的高度方向地予以设置 。 18.如申请专利范围第6项之基板侦知装置,其中,沿 着前述基板收纳容器的高度方向而直列地排列的 复数个信号接收器,是排列成沿着前述基板收纳容 器的高度方向之复数列。 19.如申请专利范围第18项之基板侦知装置,其中,以 使用半分光镜将由发信器所发出的作为信号之线 光朝信号接收器的路径分光,可朝向排列成前述复 数列的前述信号接收器分别发出线光。 图式简单说明: 第1图是显示本发明的第1实施形态之基板侦知装 置安装于基板处理装置的状态之图,(a)是上面图、 (b)是由基板处理装置侧所观看的图。 第2图是显示第1图所示之基板侦知装置的控制结 构的示意图。 第3图是安装有如第1图所示的基板侦知装置之基 板处理装置的概略图。 第4(a)图是用来说明移动中的发信器之位置与对应 移动中的发信器所选择之接收元件的区域的关系 的图;第4(b)图是显示收纳盒的各槽与各区域的对 应之示意图。 第5(a)图是显示一个区域之接收元件的排列结构的 图;第5(b)图是显示该接收信号结果的一例的图。 第6图是显示统计处理接收信号结果而侦知收纳盒 内有无基板及其状态的处理顺序之流程图。 第7图是显示本发明的第2实施形态之基板侦知装 置安装于基板处理装置的状态之图,(a)是上面图、 (b)是由基板处理装置侧所观看的图。 第8图是显示第7图所示之基板侦知装置的控制结 构的示意图。 第9图是显示沿着基板收纳容器的高度方向直列地 排列复数个信号接收器的样子之示意图。 第10图是用来说明信号接收器之PSD元件的结构之 概略图。 第11图是显示在基板于正常的状态下被收纳在基 板收纳容器的槽之情况时所侦知的信号接收器输 出之分布的图。 第12图是显示在基板于复数片重叠的状态下被收 纳在基板收纳容器的槽之情况时所侦知的信号接 收器输出之分布的图。 第13图是显示在基板于斜插的状态下被收纳在基 板收纳容器的槽之情况时所侦知的信号接收器输 出之分布的图。 第14图是用来说明基板由基板收纳容器的槽朝开 口侧突出而偏移倾斜的状态(突出状态)之图。 第15(a)图是显示在基板于正常的状态下被收纳在 基板收纳容器的槽之情况时所侦知的信号接收器 输出之分布的图;第15(b)图是在基板于突出的状态 下被收纳之情况时所侦知的信号接收器输出之分 布的图。 第16图是用来说明侦知基板的收纳状态之处理顺 序的图。 第17图是用来说明基板倾斜而被收纳的情况时的 信号经过路径的图。 第18图是用来说明本发明的第2实施形态之基板侦 知装置的变形例,且显示在基板倾斜而被收纳的情 况时所侦知的信号接收器的强度输出及位置输出 的分布之图。 第19图是用来说明对应第18图的侦知例的基板之收 纳状态的图。 第20图是用来说明本发明的第2实施形态之基板侦 知装置的变形例,且显示在基板倾斜而被收纳的情 况时所侦知的信号接收器的强度输出及位置输出 的分布之图。 第21图是用来说明本发明的第2实施形态之基板侦 知装置的变形例的图。 第22图是用来说明本发明的第2实施形态之基板侦 知装置的变形例的图。 第23图是用来说明本发明的第2实施形态之基板侦 知装置的变形例的图。 第24图是显示基板被收纳于FOUP内的状态之斜视图 。 第25图是用来说明FOUP之基板的收纳状态的图。 |
