| 主权项 |
1.一种用于制造积体电路的烘烤单元,包含: 一其上装载一基板的板;以及 一温度控制部件,其被提供至前述板以加热或冷却 装载于前述板上的前述基板, 其中一导引路径形成于前述板之一顶部表面上,以 用于当前述基板装载于前述板上时,将外部空气导 引至一形成于前述基板与前述板之间的空间中。 2.如申请专利范围第1项所述之用于制造积体电路 的烘烤单元,其中前述温度控制部件为一用于冷却 前述基板的冷却部件。 3.如申请专利范围第2项所述之用于制造积体电路 的烘烤单元,更包含: 起模顶杆,其用于在上下移动时将一基板装载于前 述板上或将前述基板自前述板举起, 其中顶杆孔形成于前述板中,以作为前述起模顶杆 之移动路径;以及 其中前述起模顶杆包含: 一支撑面,其用于支撑一基板之底部边缘;以及 一导引面,其与置放于前述支撑面上之一基板的一 侧面部分相对,以防止装载于前述起模顶杆上之一 基板侧向移动。 4.如申请专利范围第3项所述之用于制造积体电路 的烘烤单元,其中前述板之一顶部表面具有一其上 装载一基板的中心区域,及一环绕前述中心区域的 边缘区域; 其中前述顶杆孔形成于前述中心区域与前述边缘 区域的一边界处;以及 其中前述导引路径包含一导引凹槽,其连接至前述 顶杆孔且延伸至前述中心区域。 5.如申请专利范围第1项所述之用于制造积体电路 的烘烤单元,其中前述板具有一其上装载一基板的 中心区域,及一环绕前述中心区域的边缘区域;以 及 其中前述导引路径包含一导引凹槽,其自前述中心 区域延伸至前述边缘区域。 6.如申请专利范围第1项所述之用于制造积体电路 的烘烤单元,其中前述板具有一其上装载一基板的 中心区域,及一环绕前述中心区域的边缘区域;以 及 其中前述导引路径包含一导引凹槽,其自前述中心 区域延伸至前述板之一外侧壁。 7.如申请专利范围第3项所述之用于制造积体电路 的烘烤单元,其中前述板之一顶部表面具有一其上 装载一基板的中心区域,及一环绕前述中心区域的 边缘区域; 其中前述顶杆孔形成于前述中心区域与前述边缘 区域的一边界处;以及 其中前述导引路径包含贯通孔,其形成于前述板之 前述中心区域上,以自前述板之上端贯通至前述板 之下端。 8.如申请专利范围第7项所述之用于制造积体电路 的烘烤单元,其中前述导引路径更包含一导引凹槽 ,其形成于前述板之一顶部表面上以与前述贯通孔 连接。 9.如申请专利范围第1项所述之用于制造积体电路 的烘烤单元,其中前述导引路径更包含一形成于前 述板上的导引凹槽, 前述导引凹槽包含: 多个线形导引组件,其沿前述板之一径向方向提供 ;以及 至少一个环形导引组件,其经提供以分别与前述导 引组件连接。 10.一种冷却板,其上形成一导引凹槽,以与出现在 一基板与前述冷却板之间的一空间的外部连通,前 述导引凹槽将外部空气导引至前述空间中,以防止 在前述冷却板上冷却前述基板时,前述空间之一内 部压力由于前述空间中之空气压缩而下降至低于 前述空间的一外部压力。 11.如申请专利范围第10项所述之冷却板,其中前述 冷却板之一顶部表面具有一其上装载一基板的中 心区域,及一环绕前述中心区域的边缘区域;以及 其中前述导引凹槽自前述中心区域延伸至前述冷 却板之一外侧壁。 12.如申请专利范围第10项所述之冷却板,其具有一 其上装载一基板的中心区域,及一环绕前述中心区 域的边缘区域, 其中在前述中心区域上形成贯通孔,以自前述中心 区域之上端贯通至前述中心区域之下端;以及 其中前述导引凹槽连接至前述贯通孔。 13.如申请专利范围第10项所述之冷却板,其中顶杆 孔形成于前述冷却板上,且起模顶杆经由前述顶杆 孔移动,以在上下移动时将一基板装载于前述冷却 板上或将前述基板自前述冷却板举起;以及 其中前述导引凹槽连接至前述顶杆孔。 14.如申请专利范围第13项所述之冷却板,其具有一 其上装载一基板的中心区域,及一环绕前述中心区 域的边缘区域, 其中前述顶杆孔安置于前述中心区域与前述边缘 区域之间的一边界处。 15.一种基板处理装置,包含: 一其上装载一基板的板;以及 起模顶杆,其用于将一基板装载于前述板上或将前 述基板自前述板举起,前述起模顶杆经由形成于前 述板中之顶杆孔上下移动, 其中一导引路径形成于前述板上,以用于当前述基 板藉由前述起模顶杆下降时,将前述板与前述基板 之间的一空间中的空气导引至前述空间的外部,前 述导引路径被提供至前述板之一顶部表面,且具有 一自前述板之一中心区域延伸至前述板之一外侧 壁的导引凹槽。 16.如申请专利范围第15项所述之基板处理装置,其 中多个导引凹槽系沿前述板之一径向方向而提供 。 17.如申请专利范围第15项所述之基板处理装置,其 为一用于加热或冷却一基板的烘烤单元。 图式简单说明: 图1说明根据本发明之一烘烤单元。 图2说明图1之一起模顶杆总成及一冷却板。 图3是图1所说明之冷却板的透视图。 图4说明一起模顶杆的形状。 图5A及图5B展示自根据本发明之冷却板体现出的优 势。 图6至图9分别说明图1之冷却板的改良模型。 图10A及图10B展示自根据本发明之冷却板体现出的 另一优势。 |
