| 主权项 |
1.一种防护胶膜框架,其特征为于其框体至少一对 的边具有:中央部分为一朝外侧凸出的圆弧形状部 分,其两侧为一朝外侧凹入的圆弧形状部分,再更 两外侧为一直线形状部分。 2.如申请专利范围第1项之防护胶膜框架,其中该朝 外侧凹入的该圆弧形状部分的半径为该朝外侧凸 出的该圆弧形状部分之半径的1/3以上。 3.如申请专利范围第1项或第2项之防护胶膜框架, 其中,将该防护胶膜框架之该边的该圆弧形状部分 以及该直线形状部分的大小、范围设计成:于黏接 一防护胶膜膜片而构成该防护胶膜组件时,由于黏 接的该防护胶膜膜片的张力之作用,使该防护胶膜 框架的各边成为直线状。 4.如申请专利范围第1项或第2项之防护胶膜框架, 其中该框体至少一对的边长为400mm以上。 5.一种微影用的防护胶膜组件,其特征为使用如申 请专利范围第1至4项中任一项之防护胶膜框架,黏 接防护胶膜膜片于该防护胶膜框架而构成。 图式简单说明: 第1图系显示依本发明的框架之一实施例的概略图 。 第2图系显示使用本发明之框架所制作的防护胶膜 组件之一实施例的概略图。 第3图(a)系显示习知框架的形状,(b)于此框架黏接 防护胶膜膜片而得之习知防护胶膜组件的概略图 。 第4(a)图系显示将长边向外侧弯曲的框架,第4(b)图 系显示于此框架黏接防护胶膜膜片而得之防护胶 膜组件的概略图。 第5图系显示以剥离工具将防护胶膜膜片张设保持 时的张力方向。 |
