| 主权项 |
1.一种可变焦透镜模组之制造方法,系包括有下列 步骤: a、预备步骤:准备一预定图案之第一道光罩,以便 制作出透镜及流道腔体之形状,一预定图案之第二 道光罩,系为制作出蓄积液体腔体之形状,以及一 可成型为块状底材之挡板; b、微影成型步骤:利用一旋转涂布机,将一光阻均 匀涂布于一基板上,经由一烤箱软烤后,再利用一 曝光机进行第一道光罩曝光,将其固化成型,显影 后即完成第一层结构,依相同程序,于该第一层结 构之上,对第二道光罩进行曝光、显影,制作第二 层结构; c、PDMS翻模步骤:于完成之第一层结构与第二层结 构上,以一液状PDMS覆盖过其二层结构,将其烘烤固 化后,进行拔模,即完成一PDMS结构层; d、制作PDMS块材步骤:将该液状PDMS倒入所制作的挡 板内,经由120℃烘烤20分钟固化后,将PDMS小心拔起, 即完成一厚度约1~2mm之PDMS块材; e、结构接合步骤:将PDMS结构层及PDMS块材利用一液 状PDMS加以紧密黏接; f、后续步骤:将结合好之结构施以适当的裁切,即 完成变焦透镜的主体,后续再利用一致动压电片驱 动腔体的薄膜,使得透明之PDMS透镜部份经由压力 变化,进而膨胀即可达到变焦效果。 2.如申请专利范围第1项所述之可变焦透镜模组之 制造方法,其中,该基板可为矽晶圆基板。 3.如申请专利范围第1项所述之可变焦透镜模组之 制造方法,其中,该基板可为PMMA。 4.如申请专利范围第1项所述之可变焦透镜模组之 制造方法,其中,该基板可为PC板。 5.如申请专利范围第1项所述之可变焦透镜模组之 制造方法,其中,该光阻系一种JSR(THB-120N)之光阻材 料。 6.如申请专利范围第1项所述之可变焦透镜模组之 制造方法,其中,该变焦透镜之成形方式,系于该旋 转涂布机涂布光阻时,藉由改变不同涂布之转速, 以及控制光罩上每个图案之大小,以精确控制透镜 之面积与高度,且透镜尺寸范围可从数百m至数 个mm之间。 7.如申请专利范围第1项所述之可变焦透镜模组之 制造方法,其中,该变焦透镜之成形方式,系为单一 结构,亦可为阵列式,其光罩图案可为圆形、方形 、多边形及甜甜圈形等形状。 8.如申请专利范围第1项所述之可变焦透镜模组之 制造方法,其中,于成形之变焦透镜结构上以一具 光学性质之液状PDMS,将之填入固化后即可翻模,为 量产制造之方法。 9.如申请专利范围第1项所述之可变焦透镜模组之 制造方法,其中,该变焦透镜之结构,均为PDMS所制作 ,可减少材料间所引起的化学反应,且因PDMS为弹性 体,也可以减少以脆性材料制作所产生之破裂,而 污染损害邻近的装置元件。 10.如申请专利范围第1项所述之可变焦透镜模组之 制造方法,其中,该变焦透镜之结构仅做一次结合, 可将接缝处降低到最少,避免液漏之现象发生,利 用液状PDMS作为黏着剂,可不必使用氧电浆粗化处 理之过程,以降低设备成本。 11.如申请专利范围第10项所述之可变焦透镜模组 之制造方法,其中,黏着剂系可利用紫外光固化胶 、快速胶水、树脂类接合剂等产品。 12.如申请专利范围第1项所述之可变焦透镜模组之 制造方法,其中,该驱动方式系可采用磁铁吸引驱 动方式及手压腔体驱动方式。 13.如申请专利范围第1项所述之可变焦透镜模组之 制造方法,其中,该变焦透镜模组系可应用于手机 内之相机镜头、(数位)相机、DV摄影机、医学用显 微镜等,各数位影像储存媒体、手机通讯均可获得 广泛应用。 图式简单说明: 第一图系本发明变焦透镜结构之制作流程图。 第二图系本发明之第一道光罩示意图。 第三图系本发明之第二道光罩示意图。 第四图系本发明之一次光阻涂布示意图。 第五图系本发明之一次光阻涂布后示意图。 第六图系本发明之一次软烤示意图。 第七图系本发明之一次曝光示意图。 第八图系本发明一次微影成型后之示意图。 第九图系本发明之二次光阻涂布示意图。 第十图系本发明之二次光阻涂布后示意图。 第十一图系本发明之二次曝光示意图。 第十二图系本发明之二次硬烤示意图。 第十三图系本发明二次微影成型后之示意图。 第十四图系本发明以PDMS翻模示意图。 第十五图系本发明翻模后成型之结构示意图。 第十六图系本发明制作PDMS块材之结构示意图。 第十七图系本发明之PDMS块材结构示意图。 第十八图系本发明之涂布液状PDMS示意图。 第十九图系本发明之液状涂布后示意图。 第二十图系本发明之结构接合示意图。 第二十一图系本发明以烘烤来固定结构之示意图 。 第二十二图系本发明之变焦透镜结构侧视图。 第二十三图系本发明之驱动示意图。 第二十四图系本发明之驱动侧视图。 |
