| 主权项 |
1.一种物理气相沉积蒸镀机之被镀物固持装置,该 固持装置系装设于一蒸镀机内部,用以供被镀物置 设固持,包括: 一传动机构,具有一固定轴及一连接于固定轴之传 动元件;以及 至少一固接机构,具有一与所述传动机构之固定轴 呈非平行设置之旋转轴、一用以固持旋转轴之支 撑臂及一带动旋转轴与支撑臂绕着传动机构进行 旋转运动之转盘构件,于该旋转轴之二端分别连接 一转动件及一固接座,该转动件系与传动元件相互 配合转动,以使该固接座产生倾斜状旋转运动。 2.依申请专利范围第1项所述之物理气相沉积蒸镀 机之被镀物固持装置,其中该传动机构之固定轴系 呈纵向铅直状设置。 3.依申请专利范围第1项所述之物理气相沉积蒸镀 机之被镀物固持装置,其中该传动机构之固定轴与 固接机构之旋转轴的内夹角系介于5~90之间。 4.依申请专利范围第3项所述之物理气相沉积蒸镀 机之被镀物固持装置,其中该传动机构之固定轴与 固接机构之旋转轴的内夹角系介于15~45之间。 5.依申请专利范围第1项所述之物理气相沉积蒸镀 机之被镀物固持装置,其中该传动元件系为斜齿轮 或斜锥轮之任一种。 6.依申请专利范围第1项所述之物理气相沉积蒸镀 机之被镀物固持装置,其中该固接机构之固接座系 包含有一底盘、一设于底盘上方并与底盘间形成 有间隔空间之第一插盘及一环设于底盘与第一插 盘之环体。 7.依申请专利范围第6项所述之物理气相沉积蒸镀 机之被镀物固持装置,其中该第一插盘上设有多数 插接孔,而该底盘上则设有多数凹槽,该凹槽系与 插接孔对应设置。 8.依申请专利范围第6项所述之物理气相沉积蒸镀 机之被镀物固持装置,其中该第一插盘上设有多数 插接孔,而该底盘上则设有多数凸柱,该凸柱系与 插接孔对应设置。 9.依申请专利范围第6项所述之物理气相沉积蒸镀 机之被镀物固持装置,其中于该底盘及环体上分别 开设有多数穿孔。 10.依申请专利范围第6项所述之物理气相沉积蒸镀 机之被镀物固持装置,其中该固接座更包含有一第 二插盘,该第二插盘系介于第一插盘与底盘之间, 并与底盘及第一插盘间分别形成有间隔空间。 11.依申请专利范围第10项所述之物理气相沉积蒸 镀机之被镀物固持装置,其中该第二插盘上设有多 数插接孔,而该第一插盘上亦设有多数插接孔,各 该插盘之插接孔系对应设置。 12.依申请专利范围第1项所述之物理气相沉积蒸镀 机之被镀物固持装置,其中该固接机构系为复数组 设置,各该固接机构系为等间隔对应设置,且系绕 着传动机构进行转动。 图式简单说明: 第一图 系本发明第一实施例应用于蒸镀机之组合 示意图。 第二图 系本发明第一实施例应用于蒸镀机之使用 状态图。 第三图 系第二图之固接座与被镀物组合剖视图。 第四图 系本发明之固接座另一实施例组合剖视图 。 第五图 系本发明之固接座又一实施例组合剖视图 。 第六图 系本发明第二实施例应用于蒸镀机之组合 示意图。 |
