| 发明名称 |
Micromirror devices and methods of making the same |
| 摘要 |
A method for making a micromirror device comprises is disclosed herein.
|
| 申请公布号 |
US2007241417(A1) |
申请公布日期 |
2007.10.18 |
| 申请号 |
US20070734442 |
申请日期 |
2007.04.12 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
HUIBERS ANDREW;SHI HONGQIN;DUNPHY JAMES C.;PATEL SATYADEV |
| 分类号 |
H01L31/0232 |
主分类号 |
H01L31/0232 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
