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Die vorliegende Erfindung stellt eine Vorrichtung zum Testen eines optoelektronischen Moduls zur Verfügung, die eine erste Quelle zum Erzeugen eines elektromagnetischen Strahls oder Teilchenstrahls, eine zweite Quelle zum Beleuchten des optoelektronischen Moduls und einen Detektor umfasst. Darüber hinaus wird ein Verfahren zum Testen eines optoelektronischen Moduls zur Verfügung gestellt, das das Beleuchten des optoelektronischen Moduls, Richten eines elektromagnetischen Strahl oder Teilchenstrahls und Detektieren von Defekten in dem optoelektronischen Modul umfasst. Durch das zu dem elektromagnetischen Strahl oder Teilchenstrahl zusätzliche Beleuchten werden Defekte sichtbar gemacht, die ohne Beleuchten nicht detektierbar wären.
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