Impedanzanpassungsgerät für eine SiO<SUB>2</SUB>-Beschichtungsanlage,申请号DE19971058343-传众专利搜索

发明名称	Impedanzanpassungsgerät für eine SiO<SUB>2</SUB>-Beschichtungsanlage
摘要
申请公布号	DE19758343(B4)	申请公布日期	2007.10.18
申请号	DE19971058343	申请日期	1997.12.22
申请人	SAMSUNG CORNING CO. LTD.	发明人	KIM, SA-HYUK;BAIK, SUNG-SUN;WOO, KWANG-SUNG
分类号	H03H7/38;H01J37/32;H05H7/02	主分类号	H03H7/38
代理机构		代理人
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