| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Steuerung oder Regelung der Auslenkung mikromechanisch hergestellter auslenkbarer Elemente, die elektrostatisch angetrieben, oszillierend ausgelenkt werden. Es ist dabei Aufgabe der Erfindung eine Möglichkeit zur Verfügung zu stellen, mit der ein deutlich größerer Auslenkbereich genutzt werden .kann und dabei die erforderliche Spannungspotentialdifferenz für den elektrostatischen Antrieb einer Auslenkung klein gehalten und das Auftreten des PuIl-In- Effekts vermieden werden kann. Erfindungsgemäß ist ein mit mindestens einem Federelement (2) an einem Rahmenelement (5) gehaltenes auslenkbares Element (1) vorhanden, das mit einem elektrostatischen Antrieb ausgelenkt werden kann, vorhanden. Die Auslenkung mitttels mindestens einer Gegenelektrode (3a.3b) un dem als Elektrode nutzbaren auslenkbaren Element erreicht werden. Außerdem is mindestens ein zur berührungslosen Detektion mindestens einer Auslenkposition geeigneter Detektor (8) vorhanden.</p> |
