液晶显示器之薄膜电晶体阵列及其制造方法

摘要

本发明提供一种薄膜电晶体阵列，其中该薄膜电晶体阵列的单元特别具有一配置在电晶体的储存电容及一覆盖电晶体源极/汲极金属之透明导电保护层。本发明亦提供一种制造该薄膜电晶体阵列之方法，系采用三道光罩制程，其中：系利用蚀刻液选择比来移除画素电极上面的闸极金属；系以灰阶光罩方式来界定形成该电晶体主动区；且系利用背面曝光方式以闸极金属作为光罩来界定形成保护层。