利用声波能量处理基板之方法、装置及系统

摘要

本发明系关于一种用于处理基板之换能器总成，其包含：一经调适以将电能转换为声波能量之晶体或陶瓷，该晶体或陶瓷具有一第一导电表面；及一由一惰性非反应性塑胶组成、用于传输由该晶体或陶瓷产生之声波能量之传输器，该传输器具有一直接接合至该晶体或陶瓷的第一导电表面之第一表面。该换能器总成系用于利用声波能量清洁诸如半导体晶圆之扁平物品。