| 摘要 |
接收被薄型化处理之平面面板显示器用的贴合玻璃基板GL，并针对此玻璃基板，在复数之检查线LN1~LN3，计测其板厚的板厚测定装置40。具备有：3组之变位感测器Si，系与玻璃基板之被搬送的搬送路径直交，而配置在前述玻璃基板之表面侧与背面侧；和第1手段，根据变位感测器之输出讯号，算出各感测器与玻璃基板GL之表面的间隔距离D1、D2；和第2手段，系根据第1手段之算出值，与预先被特定之一对之感测器的间隔距离D0，来算出搬送中之前述玻璃基板的板厚T。若藉由本发明，则就算玻璃基板被薄型化，亦能正确地计测出板厚。 |
