基板洗净方法,基板洗净装置及电脑可读取之记忆媒体

摘要

属于具有：至少在部份期间一边使基板旋转、一边对基板表面供应液来洗净；和然后使基板乾燥的基板洗净方法，乾燥基板具有：让基板的转数减速到比洗净基板时的转数还低的第1转数；和基板转数减速到前述第1转数之际，液的供应位置开始由基板略中心向着周缘部移动；和在达到比第1转数还低的第2转数的时点，停止液的供应；和由第2转数开始增加转数。