监测和控制电浆制程之技术

摘要

一种用于监测电浆中之离子种类之飞行时间离子感测器包括外壳。漂移管定位于所述外壳中。提取器电极在所述外壳中定位于所述漂移管之一第一末端处，以便自电浆吸引离子。多个电极定位于所述漂移管之一第一末端处并接近所述提取器电极。偏压所述多个电极，以便使被吸引的离子之至少一部分进入所述漂移管，且向所述漂移管之一第二末端漂移。一离子侦测器接近所述漂移管之所述第二末端而定位。所述离子侦测器侦测与所述被吸引离子之所述至少一部分关联的到达时间。