| 摘要 |
【课题】提供容易进行测量点校正作业，且价格便宜之显微镜装置。【解决方法】本发明显微镜装置具备使检体(21)水平移动之XY轴(22)；用来观察检体(21)之观察用光学组(10)；使用观察用光学组(10)之对物镜(11)上下移动之Z轴；透过对物镜(11)将测量光照射到检体(21)，并检测出合焦之焦点检测部(30)；以光学装置结合焦点检测部(30)与对物镜(11)之半镜(17)；根据焦点检测部(30)之检测结果，来控制Z轴(15)之讯号处理部(41)；用来测量利用Z轴(15)之对物镜移动量之测量部(42)。本显微镜装置更具备装在焦点检测部(30)与半镜(17)间光径上之两个楔形棱镜(51a)与(51b)；可分别使楔形棱镜(51a)与(51b)持续回转之回转机构(52a)与(52b)。 |
