微影设备及器件制造方法

摘要

一种微影设备包括：一液体限制系统，其用以将液体限制在一投影系统之一最终元件与一基板之间的一空间中；及一第一基板平台及一第二基板平台，两个基板平台经组态以相互协作来执行使该微影设备自一第一组态进入一第二组态之一接合移动，在该第一组态中该液体被限制在由该第一基板平台所固持之一第一基板与该最终元件之间，在该第二组态中该液体被限制在由该第二基板平台所固持之一第二基板与该最终元件之间，使得在该接合移动期间该液体基本上被限制在相对于该最终元件之该空间内。该设备亦包括一位置量测系统，其经组态以至少在该接合移动期间量测该第一基板平台及该第二基板平台之位置。