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发明名称
装置处置器之单一摄像三点视讯对准系统
摘要
本发明揭示一种用于对准一测试装置之视讯对准系统,其包括一经定位于该视讯对准系统之一对准部分之上的对准摄像机。一用于发射光至该装置上之照明系统经定位在邻近该对准摄像机处。使用一校准目标以界定一校准目标座标系。三个致动器经定位在该视讯对准系统之一测试部分中,用于纠正在该校准目标与该测试装置之间的偏移。一抓放处置器在该测试部分与该对准部分之间传输该校准目标及该测试装置。
申请公布号
TW200739779
申请公布日期
2007.10.16
申请号
TW095135143
申请日期
2006.09.22
申请人
三角设计公司
发明人
凯欣 肯 丁;史蒂夫 艾迪;劳瑞 史达克基
分类号
H01L21/66(2006.01);B23Q3/18(2006.01);G01B11/27(2006.01);G01R31/26(2006.01);G01R31/28(2006.01);H01L21/68(2006.01)
主分类号
H01L21/66(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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