光罩、及其制作方法、使用该光罩之图案形成方法以及光罩资料制作方法

摘要

课题：同时形成含有细线图案的各种尺寸图案时，对任意尺寸的图案形成能够获得MEF降低效果。解决手段：对曝光的光具有透光性的透射性基板100上，使得由遮光部101和半遮光部102构成的光罩图案被设置为由透光部104包围。半遮光部102被配置在光罩图案的外缘区域，对透射透光部104的曝光的光为同相位且部分地使曝光的光透射。