发明名称 | 液面检测装置及具备彼之液处理装置 | ||
摘要 | 本发明的课题是在于提供一种不受发生于液体中的气泡影响来正确地检测、监视储存于槽内的液体量之液面检测装置及具备彼之液处理装置。其解决手段系设置:导液管14,其系以能够和槽5内的液面位置同一液面位置之方式来引导槽内的液体;及液面检测用的分歧导液管15,其系从该导液管分歧,具有和槽内的液面位置同一液面位置;并且,在分歧导液管设置位置感测器16(16a,16b,16c,16d),其系检测出该分歧导液管内的液体的液面。而且,在导液管与分歧导液管的连接部配设多孔板状的气泡防止构件17,其系阻止发生于液体中的气泡侵入至分歧导液管内。 | ||
申请公布号 | TW200739042 | 申请公布日期 | 2007.10.16 |
申请号 | TW095144445 | 申请日期 | 2006.11.30 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 田中幸司;南辉臣 |
分类号 | G01F23/00(2006.01);G01F23/26(2006.01);H01L21/02(2006.01) | 主分类号 | G01F23/00(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 林志刚 | |
主权项 | |||
地址 | 日本 |