压电微机电开关及制造方法

摘要

本发明揭示一种微机电压电开关(100)，其提供便于在一单一单元中制造紧密结构之优点，而且其不会出现高温所致的接点材料形态变化及对特性产生的不利影响。高温所致的形态变化表示：在制造期间，当诸如射频线(125、130)及短路棒(150)之类的金属接点系曝露于对一压电层进行退火所需要之温度时，或者在替代地使用该压电层的高温沉积程序之情况下曝露于在此一程序期间遇到之该些温度时所发生的变化。